臭氧设备的运行系统首先是气源部分,气源部分是臭氧设备的原料供应站。要给臭氧发生室提供品质和数果足够的气体原料，气源部根据场合和用法的不同有很多种不同的种类。主要考虑的因素是供气的能力要能够满足臭氧机的需要，再就是现场的条件，能够方便配合的周围的设施。气源部分质量的好坏也是直接关系臭氧产量和质量的关键因素，是臭氧发生器的核心部件之一。接下就是臭氧的发生部分，也就是把氧气转化为臭氧的部分，为生产所需提供足够的臭氧。是臭氧设备中心配件，也是设备投资资钱最多的部分，一般都会占设备的总投资的一半以上。由于臭氧放电来产生臭氧，整机的耗能也是集中在这里，臭氧发生部分会和臭氧发生器的形式有关，现在一般都是中高频的臭氧发生器，这种效率和能量的消耗都是比效理想的，是目前比效先进的技术。这部分选择的时候也是看的产量指标，要能够满足自已的需要。等臭氧生产出来以后就要把臭氧引入需要消毒的物质只去，这主要分为两方面气本和液体，如果是气体就是空间消毒，这个要根据室内的污染状况和生产所需要的洁净标准来制定空间所需臭氧的浓度，和消毒时间。另一种是和液体反应，就需要把臭氧快速的扩散的液体中去，根据不同的工艺要求，有效的进行接触反应，达到工艺所规定的标准和要求。这部分有泡气石，射流器，混合泵等几种常用的混合方式。泡气石和射流器相对比效简单。以般是应用在对臭氧浓度要求不是很高的地方，成本也是比效低廉的。混合泵是液体臭氧混合用的最多设备，一般的工业应用都采用这种方式，可以达到效高的臭氧浓度，稳定性也是大大增强。在选用配件的时候也要注意，臭氧对大部分的塑料和铁铜铝的等金属都起反应，所以一般要选用不锈钢304，316等材质和臭氧接触，如果要用到塑胶要采用塑料王为和硅胶等材质。如果在生产中用不完的臭氧，也要处理掉，这部分相对就是比效简单的。
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