现在我们所知道可以产生臭氧的方式有核辐射法，电晕放电法，等离子射流法，电解法和紫外线法，原子能射线,电子,等离子和紫外线的方式,在实验中这些物质的射线流在轰击氧气的时候,可以产生氧原子,氧原子是非常活跃的,很快就会和氧气结合产生臭氧。电晕放电法就是通过中高频放电产生高速电子流，这些高速电子去轰击氧气就会产生氧原子，氧原子产生后到碰撞而产生臭氧。这种方法是科学家们在下雨打雷的时候发现的，在雷电的轰击下空气中会产生很多臭氧，这也是我们在雷雨过后感觉空气变的清新的原因。我们常用的臭氧发生器就是通过这种方法来获取臭氧的，通常用空气源的臭氧发生器和氧气源的臭氧发生器所产生的臭氧浓度会相差三倍以上，而氧气源的能耗更少，但是氧气源的机器造价也是空气源的几倍。紫外线产生臭氧的方法，就是利用低压泵灯来来照射，这种方法在臭氧产生中是最简单的，就是用用紫外光波让氧气分解成氧原子，在碰撞中产生臭氧，我们对大气的臭氧层比效熟悉，臭氧层的由来就是因为太阳的紫外光波照射大气层而形成的，但是紫外线产生臭氧的方法能耗高，所产生的臭氧浓度低，一般只会在实验室中应用，工业方面的应用不大。他和电晕放电方相比能耗要高几十倍，是企业没有办法承受的。这种方式的好处就是可以对环境的湿度和温度没有求，适应环境的能力强，正是电晕法所不具备的，电晕法要求是干燥氧气，温度要低，对环璋要求高。电解法就是利用高功率的直流电源在含用水化荧光阴离子电解质的水溶液中将氧原子电解，这种方法产生臭氧的浓度高，在水中的浓度高，但是臭氧利用起来比效困难，实用价值不高。
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